欢迎进入北京恒奥德仪器仪表有限公司网站!
北京恒奥德仪器镀膜机的操作使用原理主要包括以下几个步骤和关键技术参数:
创建高真空环境:首先,设备会创建一个高真空环境,以避免空气中的杂质干扰镀膜过程。这通常通过开启水泵和气源,然后逐步开启维持泵、机械泵和涡轮分子泵,逐步降低真空室内的气压,直到达到所需的真空度(如2×10^-3 Pa)
1
2
。
加热蒸发源材料:在真空环境创建好后,设备会加热蒸发源材料,使其达到蒸发温度。这样,材料原子或分子能够蒸发出来。对于磁控溅射镀膜机,会在真空室内充入惰性气体(如氩气),并通过高压电场使气体电离,产生等离子体。随后,在磁控阴极靶上施加直流或中频电源,使靶材表面的原子获得动能并逸出表面,飞向基片并在其上沉积形成薄膜
3
4
。
沉积形成薄膜:当原子或分子蒸发出来后,它们会在基片表面凝结,形成所需的薄膜。对于磁控溅射,靶材表面的原子在获得动能后逸出靶材表面,飞向基片并在其上沉积形成薄膜
3
4
。
不同类型镀膜机的操作原理差异
真空蒸发镀膜机:通过加热蒸发源材料,使其原子或分子蒸发出来,然后在基片表面凝结形成薄膜
5
。
磁控溅射镀膜机:在真空室内充入惰性气体,通过高压电场使气体电离,产生的等离子体与靶材碰撞,使靶材原子逸出并沉积在基片上形成薄膜
3
4
。
镀膜机的应用领域和优缺点
应用领域:镀膜机广泛应用于各种材料的表面处理,如金属、塑料、玻璃等。常见的应用包括光学薄膜、装饰薄膜、功能薄膜等